Дом
Шанхайская лаборатория искусственного интеллекта разгадала секрет фоторезиста для производства микросхем

Недавно Шанхайская лаборатория искусственного интеллекта в сотрудничестве с несколькими научно-исследовательскими учреждениями успешно решила проблему стабильности при получении высококачественной смолы для KrF-фоторезиста, задействовав научную крупномасштабную модель «Шу Шэнь» и автоматизированную платформу для научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ. Этот прорыв знаменует собой значительный прогресс в секторе материалов для производства микросхем в Китае, при этом ключевые промышленные показатели эффективности соответствующих продуктов уже соответствуют поставленным целям.
Разработка фоторезистной смолы долгое время зависела от ручных экспериментов, в ходе которых исследователям приходилось повторно тестировать тысячи рецептур и условий реакции. Такой традиционный подход к НИОКР не только неэффективен, но и подвержен операционным ошибкам, что затрудняет обеспечение высокой стабильности, необходимой для массового производства микросхем.
Исследования и разработки с замкнутым циклом на базе ИИ
Создав замкнутую систему «принятие решений на основе ИИ + автоматизированный синтез», исследовательская группа обеспечила сквозной процесс от планирования экспериментов до автоматизированной постобработки. Платформа использует технологию точного управления, чтобы стабильно поддерживать уровень примесей металлов в готовой смоле на крайне низком пороге, что значительно повышает чистоту материала и стабильность партий.
Используя способность моделей ИИ к саморазвитию, команда успешно перешла от «основанной на опыте» к «основанной на данных» парадигме НИОКР. Ключевые экспериментальные данные автоматически передаются обратно в большую модель, что стимулирует непрерывную оптимизацию алгоритмов для последующих экспериментальных циклов, тем самым значительно сокращая сроки разработки высокотехнологичных материалов.
Снижение зависимости от зарубежных цепочек поставок
Этот технологический прорыв позволяет производить высококачественную фоторезистную смолу без зависимости от запатентованных «черных ящиков» ограниченного числа зарубежных поставщиков, обеспечивая стандартизированный путь развития для глобальных инноваций в области материалов для микросхем. Соответствующие достижения в настоящее время находятся на этапе клиентской валидации, закладывая прочную основу для укрепления независимости китайской цепочки полупроводниковой промышленности.
Данное исследование демонстрирует значительный потенциал искусственного интеллекта в области фундаментальных научных открытий и свидетельствует о том, что рабочие процессы, основанные на ИИ, коренным образом изменят материаловедение. В будущем эта высокомодульная интеллектуальная платформа синтеза готова способствовать технологическим прорывам в области других ключевых полупроводниковых материалов.
Связанная статья
Умные очки Apple могут быть представлены на WWDC27 с акцентом на защиту конфиденциальности
Журналист Bloomberg Марк Гурман сообщает, что умные очки Apple под кодовым названием N50 должны дебютировать на WWDC27 в июне 2027 года, а их розничные продажи ожидаются осенью 2027 года. Изначально выпуск устройства планировался на конец этого года
Внутри раскрыты подробности о Gemini следующего поколения: ограниченные вычислительные мощности, внутренние команды не сошлись в вопросах приоритетов разработки и распределения ресурсов
В отчётах указывается, что запуск долгожданной модели Gemini следующего поколения от Google был перенесён. Внутренние разногласия по вопросам приоритетов разработки и распределения ресурсов, в сочетании с ограниченной вычислительной мощностью и сложн
OpenAI отклоняет опасения по поводу замедления роста, заявляя о ускорении работы нескольких бизнес-подразделений
В ответ на внешнюю критику, связанную с замедлением роста продаж и невыполнением внутренних плановых показателей, лидер в области искусственного интеллекта компания OpenAI опубликовала во вторник, 28 апреля, уверенное заявление. Компания уточнила, чт
Рекомендации по связанным специальным темам
Комментарии (0)

Недавно Шанхайская лаборатория искусственного интеллекта в сотрудничестве с несколькими научно-исследовательскими учреждениями успешно решила проблему стабильности при получении высококачественной смолы для KrF-фоторезиста, задействовав научную крупномасштабную модель «Шу Шэнь» и автоматизированную платформу для научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ. Этот прорыв знаменует собой значительный прогресс в секторе материалов для производства микросхем в Китае, при этом ключевые промышленные показатели эффективности соответствующих продуктов уже соответствуют поставленным целям.
Разработка фоторезистной смолы долгое время зависела от ручных экспериментов, в ходе которых исследователям приходилось повторно тестировать тысячи рецептур и условий реакции. Такой традиционный подход к НИОКР не только неэффективен, но и подвержен операционным ошибкам, что затрудняет обеспечение высокой стабильности, необходимой для массового производства микросхем.
Исследования и разработки с замкнутым циклом на базе ИИ
Создав замкнутую систему «принятие решений на основе ИИ + автоматизированный синтез», исследовательская группа обеспечила сквозной процесс от планирования экспериментов до автоматизированной постобработки. Платформа использует технологию точного управления, чтобы стабильно поддерживать уровень примесей металлов в готовой смоле на крайне низком пороге, что значительно повышает чистоту материала и стабильность партий.
Используя способность моделей ИИ к саморазвитию, команда успешно перешла от «основанной на опыте» к «основанной на данных» парадигме НИОКР. Ключевые экспериментальные данные автоматически передаются обратно в большую модель, что стимулирует непрерывную оптимизацию алгоритмов для последующих экспериментальных циклов, тем самым значительно сокращая сроки разработки высокотехнологичных материалов.
Снижение зависимости от зарубежных цепочек поставок
Этот технологический прорыв позволяет производить высококачественную фоторезистную смолу без зависимости от запатентованных «черных ящиков» ограниченного числа зарубежных поставщиков, обеспечивая стандартизированный путь развития для глобальных инноваций в области материалов для микросхем. Соответствующие достижения в настоящее время находятся на этапе клиентской валидации, закладывая прочную основу для укрепления независимости китайской цепочки полупроводниковой промышленности.
Данное исследование демонстрирует значительный потенциал искусственного интеллекта в области фундаментальных научных открытий и свидетельствует о том, что рабочие процессы, основанные на ИИ, коренным образом изменят материаловедение. В будущем эта высокомодульная интеллектуальная платформа синтеза готова способствовать технологическим прорывам в области других ключевых полупроводниковых материалов.
Умные очки Apple могут быть представлены на WWDC27 с акцентом на защиту конфиденциальности
Журналист Bloomberg Марк Гурман сообщает, что умные очки Apple под кодовым названием N50 должны дебютировать на WWDC27 в июне 2027 года, а их розничные продажи ожидаются осенью 2027 года. Изначально выпуск устройства планировался на конец этого года
Внутри раскрыты подробности о Gemini следующего поколения: ограниченные вычислительные мощности, внутренние команды не сошлись в вопросах приоритетов разработки и распределения ресурсов
В отчётах указывается, что запуск долгожданной модели Gemini следующего поколения от Google был перенесён. Внутренние разногласия по вопросам приоритетов разработки и распределения ресурсов, в сочетании с ограниченной вычислительной мощностью и сложн
OpenAI отклоняет опасения по поводу замедления роста, заявляя о ускорении работы нескольких бизнес-подразделений
В ответ на внешнюю критику, связанную с замедлением роста продаж и невыполнением внутренних плановых показателей, лидер в области искусственного интеллекта компания OpenAI опубликовала во вторник, 28 апреля, уверенное заявление. Компания уточнила, чт











