首页上海人工智能实验室破解芯片制造用光刻胶密码
近日，上海人工智能实验室联合多家研究机构，借助“树神”科学大模型和自动化研发平台，成功攻克了高端KrF光刻胶树脂的稳定制备难题。这一突破标志着中国核心芯片材料领域取得重大进展，相关产品的关键工业性能指标已达到目标。
光刻胶树脂的开发长期依赖于人工实验，要求研究人员反复测试数千种配方和反应条件。这种传统的研发方式不仅效率低下，而且容易出现操作失误，难以确保芯片大规模量产所需的高稳定性。
AI驱动的闭环研发
通过建立“AI决策+自动化合成”的闭环系统，研究团队实现了从实验设计到自动化后处理的全流程操作。该平台利用精密控制技术，将成品树脂中的金属杂质含量稳定维持在极低阈值，显著提升了材料纯度和批次一致性。
借助AI模型的自进化能力，团队成功实现了从“经验驱动”到“数据驱动”的研发范式转变。关键实验数据会自动反馈至大模型，推动后续实验周期的算法持续优化，从而大幅缩短了高端材料的开发周期。
降低对海外供应链的依赖
这项技术突破使高端光刻胶树脂的生产不再依赖少数国外供应商的专有“黑箱”解决方案，为全球芯片材料创新提供了标准化发展路径。相关成果目前正处于客户验证阶段，为增强中国半导体产业链自主性奠定了坚实基础。
该研究展示了人工智能在基础科学发现中的巨大潜力，并表明原生AI工作流将深刻重塑材料科学。展望未来，这一高度模块化的智能合成平台有望推动更多核心半导体材料领域的技术突破。
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