上海人工智慧實驗室破解晶片生產用光阻劑的技術難題

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2026-05-13

GregoryWalker

上海人工智慧實驗室破解晶片生產用光阻劑的技術難題

近期，上海人工智慧實驗室與多家研究機構合作，透過運用「樹神」科學大模型及自動化研發平台，成功解決了高端KrF光阻樹脂的穩定製備難題。這項突破標誌著中國核心晶片材料領域取得重大進展，相關產品的關鍵工業性能指標已達標。

光阻樹脂的開發長期以來依賴人工實驗，研究人員必須反覆測試數千種配方與反應條件。這種傳統的研發方式不僅效率低下，且容易發生操作失誤，難以確保晶片量產所需的高穩定性。

AI驅動的閉環研發

透過建立「AI決策＋自動化合成」的閉環系統，研究團隊實現了從實驗設計到自動化後處理的端到端運作。該平台運用精密控制技術，將成品樹脂中的金屬雜質含量穩定維持在極低閾值，顯著提升了材料純度與批次一致性。

透過運用 AI 模型的自我演化能力，團隊成功將研發模式從「經驗驅動」轉變為「數據驅動」。關鍵實驗數據會自動回饋至大型模型，驅動後續實驗週期的持續演算法優化，從而大幅縮短高端材料的開發週期。

降低對海外供應鏈的依賴

這項技術突破使高端光阻樹脂的生產無需依賴少數國外供應商的專有「黑箱」解決方案，為全球晶片材料創新提供了標準化的開發路徑。相關成果目前正處於客戶驗證階段，為強化中國半導體產業鏈的自主性奠定了堅實基礎。

這項研究展現了人工智慧在基礎科學發現方面的巨大潛力，並表明原生AI工作流程將深刻重塑材料科學。展望未來，這套高度模組化的智能合成平台有望推動更多核心半導體材料實現技術突破。

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