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Laboratório de IA de Xangai decifra o código do fotorresistente para a produção de chips
Recentemente, o Laboratório de IA de Xangai, em colaboração com várias instituições de pesquisa, resolveu com sucesso o desafio de garantir a estabilidade na preparação de resinas fotorresistentes de KrF de alta qualidade, utilizando o grande modelo científico “Shu Shen” e uma plataforma automatizada de P&D. Esse avanço representa um progresso significativo no setor de materiais essenciais para chips da China, com os principais indicadores de desempenho industrial dos produtos relacionados já atingindo as metas estabelecidas.
O desenvolvimento de resinas fotorresistentes há muito depende de experimentação manual, exigindo que os pesquisadores testem iterativamente milhares de formulações e condições de reação. Essa abordagem tradicional de P&D não é apenas ineficiente, mas também suscetível a erros operacionais, dificultando a garantia da alta estabilidade necessária para a produção em massa de chips.
P&D em ciclo fechado impulsionado por IA
Ao estabelecer um sistema de ciclo fechado de “tomada de decisão por IA + síntese automatizada”, a equipe de pesquisa alcançou uma operação de ponta a ponta, desde o projeto experimental até o pós-processamento automatizado. A plataforma utiliza tecnologia de controle de precisão para manter consistentemente os níveis de impurezas metálicas na resina finalizada em um limiar extremamente baixo, aumentando significativamente a pureza do material e a consistência do lote.
Utilizando a capacidade de autoevolução dos modelos de IA, a equipe conseguiu mudar com sucesso de um paradigma de P&D “orientado pela experiência” para um “orientado por dados”. Dados experimentais essenciais são automaticamente realimentados ao modelo de grande escala, impulsionando a otimização contínua do algoritmo para ciclos experimentais subsequentes, encurtando assim drasticamente o cronograma de desenvolvimento de materiais de ponta.
Reduzindo a dependência da cadeia de suprimentos internacional
Este avanço tecnológico permite a produção de resina fotorresistente de alta tecnologia sem depender das soluções proprietárias de “caixa preta” de um número limitado de fornecedores estrangeiros, proporcionando um caminho de desenvolvimento padronizado para a inovação global em materiais para chips. As conquistas relacionadas estão atualmente em fase de validação pelo cliente, estabelecendo uma base sólida para fortalecer a independência da cadeia da indústria de semicondutores da China.
Esta pesquisa demonstra o potencial substancial da inteligência artificial em descobertas científicas fundamentais e sugere que fluxos de trabalho nativos de IA irão remodelar profundamente a ciência dos materiais. No futuro, esta plataforma de síntese inteligente altamente modular está pronta para impulsionar avanços tecnológicos em mais materiais semicondutores essenciais.
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